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 超快激光加工技术在电子领域的应用进展

季凌飞 马瑞 燕天阳 张熙民

[摘要]如今，激光加工技术已经渗透到科学研究和工业生产的各个领域中。脉冲宽度小于10-11 s 的超快激光加工作为精密加工中最为活跃的一支，其发展尤为引人注目。

 PDF全文光电产品与资讯 | 2019, 10(02):12