首页 > 论文 > 皇冠手机 > 46卷 > 12期(pp:1204006)

皇冠手机登录地址3 参考面误差对平面子孔径拼接的影响

  • 摘要
  • 论文信息
  • 参考文献
  • 被引情况
分享:

摘要

在子孔径拼接干涉测量中,参考面误差是制约平面子孔径拼接精度的重要因素。参考面二阶项(离焦和像散)误差是导致拼接累积误差的主要因素,而参考面高阶误差会导致高频面形误差。分析了由参考面误差二阶项和高阶项导致的拼接误差的规律。研究了参考面误差导致的任意两个子孔径拼接误差之间的关系。提出了一种可以有效减小参考面高阶项误差对子孔径拼接结果影响的算法。该算法通过将拼接后的子孔径面形数据对应相减,分离出参考面高阶项误差的拼接误差。通过数据仿真和实验对该算法的正确性和有效性进行了验证。

Newport宣传-MKS新实验室计划
补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.1204006

作者单位:

    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院 激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    四川 绵阳919-988信箱 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心

引用该论文

李萌阳,曹庭分,袁晓东,张尽力,刘长春,易聪之,陈海平,全旭. 参考面误差对平面子孔径拼接的影响[J].皇冠手机,2019,46(12):1204006.

Xml地图